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口頭

1$$sim$$3.5keV領域ワイドバンド多層膜回折格子の開発

今園 孝志; 小池 雅人

no journal, , 

薄膜型太陽電池の光吸収層の物性研究において、軟X線発光分光法は、光吸収層等の埋もれた物質の化学結合状態を非破壊的に、元素選択的に励起及び評価することができる計測手法として有効である。これまでの研究において、2000$$sim$$4000eV領域の回折効率を一様に高めることができるワイドバンドW/B$$_4$$C多層膜回折格子を開発した。しかし、これを用いたとしても、CIS系太陽電池の主成分(Cu-$$L$$(0.9keV), In-$$L$$(3.4keV), Se-$$L$$(1.4keV))からの発光計測用途としては実用的とは言えないため、当該領域(0.9$$sim$$3.5keV)をカバーできる新しいワイドバンドNi/C多層膜回折格子と分光器を開発した。

口頭

電子顕微鏡用平面結像型軟X線回折格子発光分光器の開発とその性能

今園 孝志; 小池 雅人; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; et al.

no journal, , 

電子顕微鏡に搭載でき、50$$sim$$4000eV領域の発光スペクトルを高分解能計測できる平面結像型回折格子分光器を開発した。回折格子の光学特性は、放射光を用いて回折効率を、レーザープラズマ軟X線を用いて分解能を評価すると共に、透過型電子顕微鏡に搭載した軟X線分光器を用いて、金属リチウムからのK発光スペクトル(54eV)や透明酸化物半導体(ITO)からのInとSnのL発光スペクトル(3.6keV近傍)の高分解能計測等に成功した。

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